Wyposażenie:
- Pomieszczenie o podwyższonej czystości wraz z wyposażeniem
Parametry - wyposażenie zawiera:
- Układ do wytwarzania cienkich warstw metodą wylewania strefowego
- Układ do wytwarzania cienkich warstw metodą wylewania na wirujące podłoże
- Niskociśnieniowy system plazmowej obróbki powierzchni (Atto, Diener Electronic)
- Napylarka próżniowa Edwards Auto 306 Turbo
- System do badań tranzystorów polowych
- Zespół 5 komór rękawicowych (Glove Box Technology Ltd) wraz z wyposażeniem
Parametry - wyposażenie zawiera:
- Układ do wytwarzania cienkich warstw metodą wylewania strefowego
- Układ do wytwarzania cienkich warstw metodą wylewania na wirujące podłoże
- Napylarka próżniowa warstw metalicznych
- System próżniowego nanoszenia warstw organicznych i metalicznych
- System do pomiarów charakterystyk prądowo napięciowych, tranzystorów z efektem polowym
- System do pomiaru efektu fotowoltaicznego z symulatorem światła słonecznego AM1,5g
- Mikroskop cyfrowy o wysokiej rozdzielczości 4K Keyence serii VHX-S7000
Parametry:
Mikroskop składa się ze zmotoryzowanego stolika XYZ model VHX-S770E oraz zestawu obiektywów umożliwiających powiększenie obrazu do 2500x. Mikroskop wyposażony jest w szereg usprawnień pozwalających na obserwację próbek w pełnej głębi ostrości, pod różnym kątem, a także opcję konstruowania profili 3D próbki i ocenę chropowatości. Funkcja obrazowania w szerokim zakresie dynamicznym (HDR) pozwala uzyskać wysoką gradację kolorów. Obserwację próbek można prowadzić w komorze temperaturowej Linkam pracującej w szerokim zakresie temperatur.
- Mikroskop sił atomowych Nanosurf FLexAFM
Parametry:
Mikroskop posiada niskoszumową, wysokorozdzielczą głowicę FlexAFM o zakresie skanowania 10 x 10 x 3 mikrometrów oraz możliwość łączenia kolejnych obszarów skanowania w celu zwiększenia analizowanej powierzchni. Mikroskop jest wyposażony w cyfrowy kontroler C3000 umożliwiający osiągniecie pełnej 24 bitowej precyzji sterowania układu skanowania i akwizycji oraz autonomiczne oprogramowanie, które zawiera standardowe moduły akwizycji danych oraz podstawowe opcje analizy. Pomiar może odbywać się w standardowych modach obrazowania: Static Force Mode, Lateral Force Mode, Dynamic Force Mode (Tapping Mode), Phase Imaging Mode, a także w modach zależnych od oddziaływań elektrycznych: Electrostatic Force Microscopy (EFM) i Kelvin Probe Force Microscopy (KPFM).
- Mikroskop sił atomowych SolverPro NT-MDT
Parametry:
Mikroskop wyposażony jest w głowice o zakresie skanowania 120 x 120 x 3 mikrometry. Pomiary mogą być realizowane w standardowych modach obrazowania: Static Force Mode, Lateral Force Mode, Dynamic Force Mode (Tapping Mode), Phase Imaging Mode.
- Profilometr igłowy (DektakXT-E, Bruker)
Parametry:
Tryb pomiaru: kontaktowy, powtarzalność pomiaru wysokości stopnia: <5A, 1sigma na stopniu 0.1μm, typ sensora: stabilny termicznie sensor LVDT o rozdzielczości pionowej do 1A, podłoże: szkło wysoko polerowane (lambda /10) oferujące stabilność podstawy <1000A na 50mm odcinku, podgląd optyczny: kamera wysokiej rozdzielczości 3,1MPx, kolorowa, zainstalowana pod kątem 45 stopni ze stałym podglądem igły podczas skanowania (zoom cyfrowy 1-4mm FOV), rozmiar igły: od 50nm (w tym igły HAR) do 25um, długość pomiaru: maksymalnie 55mm, rozdzielczość pionowa: maksymalnie 1A, zakres w pionie: maksymalnie 1mm, wysokość próbki: 50mm maksimum, siła nacisku: 1-15mg (opcjonalnie od 0,03mg), pozycjonowanie próbki: ręczny przesuw 100mm x 100mm, funkcje analityczne: parametry S, V, P, wysokość stopnia, obszar powierzchni, nachylenie, analiza objętości, filtry danych: Fourier, Histogram, filtry statystyczne oraz filtr Gauss-a.
- Układ mikromanipulatorów do badania parametrów elektrycznych tranzystorów oraz urządzenie do badania parametrów elektrycznych elastycznych tranzystorów poddanych kontrolowanemu odkształceniu
- Unikalne układy pomiarowe własnej konstrukcji do:
- badania wydajności kwantowej fotogeneracji metodą indukowanego światłem zaniku ładunku powierzchniowego
- badania mechanizmów pułapkowania nośników ładunku metodą prądów termicznie stymulowanych
- badania rekombinacji nośników ładunku metodą termoluminescencji
Osoba kontaktowa: Jarosław Jung, Adam Łuczak, Izabela Bobowska